Με την ταχεία ανάπτυξη της βιομηχανίας ημιαγωγών, η κλίμακα της βιομηχανίας έχει αυξηθεί ραγδαία και ο εξοπλισμός κατασκευής ημιαγωγών έχει συνεχίσει να εξελίσσεται προς την ακρίβεια και την πολυπλοκότητα. Επειδή τα κεραμικά έχουν τα πλεονεκτήματα της υψηλής σκληρότητας, του υψηλού μέτρου ελαστικότητας, της υψηλής αντοχής στη φθορά, της υψηλής μόνωσης, της αντοχής στη διάβρωση, της χαμηλής διαστολής κ.λπ., μπορούν να χρησιμοποιηθούν ως μέρη μηχανής στίλβωσης πυριτίου, εξοπλισμού θερμικής επεξεργασίας επιταξιακής/οξείδωσης/διάχυσης, μηχανής λιθογραφίας, εξοπλισμού εναπόθεσης, εξοπλισμού χάραξης ημιαγωγών, μηχανής εμφύτευσης ιόντων και άλλου εξοπλισμού, έτσι η έρευνα, ανάπτυξη και παραγωγή κεραμικών εξαρτημάτων ακριβείας επηρεάζουν άμεσα την ανάπτυξη της βιομηχανίας ημιαγωγών. Οι τεχνικές απαιτήσεις για την παρασκευή τους γίνονται όλο και υψηλότερες.
Αλουμίνα υψηλής καθαρότητας, 99,7%-99,9% αλουμίνα.
Υψηλή μηχανική αντοχή, υψηλή αντοχή στη φθορά, υψηλή ηλεκτρική μόνωση, υψηλή χημική σταθερότητα, καλή αντοχή στη θερμότητα και αντοχή στη διάβρωση. Προς το παρόν, η χρήση κεραμικών δίσκων λείανσης ημιαγωγών πυριτίου είναι η πιο ανώτερη και πρωτοποριακή μέθοδος λείανσης. Η διαδικασία λείανσης διπλής όψης χρησιμοποιείται για την άλεση της κομμένης πλάκας πυριτίου και η ποιότητα της πλάκας λείανσης βελτιώνεται βελτιώνοντας τη διαδικασία λείανσης (υλικό δίσκου, υγρό λείανσης, πίεση λείανσης και ταχύτητα λείανσης κ.λπ.). Συγκεκριμένα, η χρήση κεραμικών πλακών αντί για πλάκες από χυτοσίδηρο, για την αποφυγή λείανσης στην κύρια επιφάνεια της πλάκας που προκαλείται από ουλές ή ρύπανση, τη μείωση της εισαγωγής μεταλλικών ιόντων, μπορεί να μειώσει την επακόλουθη επεξεργασία του πυριτίου, να συντομεύσει τον επακόλουθο χρόνο επεξεργασίας (διάβρωση), να βελτιώσει την αποδοτικότητα της παραγωγής και να μειώσει την απώλεια πυριτίου στην επεξεργασία, βελτιώνοντας σημαντικά την αξιοποίηση του πυριτίου.
Πλάκα στίλβωσης γκοφρέτας υψηλής αλουμίναςΧρησιμοποιείται σε ημιαγωγούς, πετρέλαιο, χημικά, φωτοβολταϊκά, υγρών κρυστάλλων και άλλες βιομηχανίες, όπως μηχανικά μέρη, ηλεκτρονικά μέρη, δίσκοι επαγωγής μικροκυμάτων, μονωτικά υλικά και άλλα μέρη, συσκευές ημιαγωγών, εξοπλισμός κενού, εξοπλισμός κατασκευής υγρών κρυστάλλων και άλλα μέρη. Τα κεραμικά αλουμίνας μεγάλου μεγέθους και υψηλής καθαρότητας έχουν σημαντική αξία εφαρμογής στη βιομηχανία ζαφειριού και στη βιομηχανία τσιπ ημιαγωγών. Είναι ένα βασικό στήριγμα και αναλώσιμο για χημική μηχανική στίλβωση (CMP) πλακιδίων ζαφειριού και ημιαγωγών πυριτίου. Τα κεραμικά αλουμίνας μεγάλου μεγέθους και υψηλής καθαρότητας μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν ως υπόστρωμα αλουμίνας για LCD.
Ώρα δημοσίευσης: 27 Ιουνίου 2024