Τσεμσούνπλάκα στίλβωσης γκοφρέτας αλουμίναςΗ πλάκα περιστροφής είναι κατασκευασμένη από αλουμίνα υψηλής καθαρότητας 99,7-99,9%. Η κεραμική αλουμίνας υψηλής καθαρότητας διαθέτει εξαιρετική ακαμψία και εξαιρετική αντοχή στη φθορά για στίλβωση πλακιδίων και διατηρεί καλό σχήμα επιφάνειας για μεγάλο χρονικό διάστημα. Διαμορφώνεται με PIBM. Είναι μέλος της βιομηχανίας ημιαγωγών λόγω της απαράμιλλης θερμικής και διαστατικής σταθερότητας και της αντοχής της σε αυστηρά περιβάλλοντα εξοπλισμού επεξεργασίας μικροτσίπ.
Η Χημικο-Μηχανική Επιπέδωση (CMP), επίσης γνωστή ως Χημικο-Μηχανική Στίλβωση, είναι μια τεχνολογία στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγικών συσκευών. Χρησιμοποιεί χημική διάβρωση και μηχανικές δυνάμεις για να επιπεδώσει πλακίδια πυριτίου ή άλλα υλικά υποστρώματος κατά την επεξεργασία.
Ο εξοπλισμός CMP χωρίζεται κυρίως σε δύο μέρη: το τμήμα στίλβωσης και το τμήμα καθαρισμού. Το τμήμα στίλβωσης αποτελείται από 4 μέρη, δηλαδή 3 περιστρεφόμενες πλάκες στίλβωσης και μια μονάδα φόρτωσης και εκφόρτωσης πλακιδίων. Το τμήμα καθαρισμού είναι υπεύθυνο για τον καθαρισμό και το στέγνωμα του πλακιδίου για να επιτευχθεί η «στεγνότητα» του πλακιδίου. Σε ολόκληρο τον εξοπλισμό στίλβωσης, τα κεραμικά αλουμίνας παίζουν σημαντικό ρόλο.
Τα κεραμικά αλουμίνας χρησιμοποιούνται συνήθως για την παρασκευή δίσκων στίλβωσης πλακιδίων, οι οποίοι απαιτούν υψηλή καθαρότητα, υψηλή χημική αντοχή και καλό έλεγχο του σχήματος και της τραχύτητας της επιφάνειας.
Ο κεραμικός δίσκος λείανσης Chemshun 99,7% Al2O3 είναι κατασκευασμένος από προηγμένα κεραμικά υλικά, τα οποία είναι κατάλληλα για λεπτή λείανση διαφόρων υλικών, ειδικά για λείανση εύθραυστων υλικών όπως πλακίδια, κεραμικά και γυαλί. Ο κεραμικός δίσκος λείανσης μπορεί να κατασκευαστεί σε διαφορετικά μεγέθη ανάλογα με τα διαφορετικά μοντέλα λείανσης και στίλβωσης.
Ώρα δημοσίευσης: 30 Μαΐου 2025